在X射線熒光分析中，物質(zhì)中所含的每種元素都會產(chǎn)生多種特征X射線，因此需要一種裝置使用適當(dāng)?shù)姆椒▽⑺鼈兎蛛x并分別測量它們的強(qiáng)度。根據(jù)檢測 X 射線的方法，有兩種類型的設(shè)備。它們是波長色散 (WDX) 和能量色散 (EDX)。

1.波長色散裝置

這是一種使用分光元件將 X 射線分離成波長并將其引導(dǎo)至探測器的設(shè)備。該探測器僅測量目標(biāo)特征X射線的強(qiáng)度，具有高波長分辨率和優(yōu)異的測量靈敏度和精度。

然而，測量樣品的表面必須光滑，并且分光元件和探測器必須精確旋轉(zhuǎn)，使得設(shè)備大型且昂貴。

2、能量分散裝置

熒光X射線直接進(jìn)入探測器，接收到的信號在設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行電處理以探測特征X射線。盡管分辨率、靈敏度和準(zhǔn)確度不如波長色散類型，但它們需要的分析時間更少，更容易處理，而且更便宜。另外，由于易于小型化，即使表面凹凸也能進(jìn)行測量，因此有手持式等多種產(chǎn)品在銷售。